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性能参数表 |
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| 碳化硅密封环 |
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| 指标名称 |
无压烧结碳化硅 |
反应烧结碳化硅 |
加碳碳化硅 |
纯度（%）
碳化硅量 |
>97 |
>90 |
含碳量30% |
硬度
（HRA） |
≥90 |
≥90 |
≥85 |
颗粒度
（um） |
0.5-0.7 |
8-20 |
20-40 |
密度
（g/cm3） |
3.06-3.15 |
>3.05 |
>2.65 |
抗弯强度
（MPa） |
400-580 |
350-450 |
200 |
抗压强度
（MPa） |
3900 |
>2500 |
1800 |
断裂强度
（MPA） |
3.05-4.6 |
4.3 |
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弹性模量
（GPA） |
380-410 |
420 |
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热传导系数
（W/M.K） |
102.6 |
35-110 |
125 |
热膨胀系数
（L/°C） |
4.02x10-6 |
4.3x10-6 |
3x10-6 |
| 泊松比 |
0.14 |
0.15 |
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